性能特點

  1. 最高可用性和可靠性——質譜儀、泵和閥等真空技術部件即便在長時間使用后也能夠保證最高性能
  2. 極短的測量時間——高抽速極大縮短了測量時間
  3. 探測最小泄漏——即便在受到氦氣污染的環境下,智能不銹鋼真空系統也能夠檢測出最小泄漏
  4. 最高質量——高精度 INFICON 測量技術確保您在生產和服務應用中獲得最高質量
  5. 最簡便的操作——操作和安裝極為簡單,無需培訓即可運用
  6. 經久穩固,普遍適用——即便是最為惡劣的生產環境也易如反掌

技術指標

He 最小可檢測泄漏率(根據 AVS 2.1) <5 x10-13pam3/s
離子源 兩根長壽命銥絲,帶氧化釔涂層(三年質保)
檢測方法 真空式和嗅探式泄漏檢測法
可檢測氣體 4He, 3He, H2
內部 He 測試泄漏 10-8 Pa m3/s
泄漏率顯示 10-13 - 0.1 Pa m3/s
運行預備時間 3min
響應時間 0.5 s
抽速:適用于 He 2.5 l/s
連接法蘭 DN 25 ISO-KF
最大進氣壓力 25mbar
環境溫度 運行時 +10至+35℃
輸入:模擬量 緊湊型測量儀
輸入:數字量 開始/停止,歸零,校準
接口 RS-232-C, RS-485
輸出:模擬量 泄漏率信號 2×0-10 V,線性/對數
輸出:數字量 準備開始,準備測量,泄漏,錯誤,局部流量閥
繼電器:觸點容量 2×230 VAC
繼電器:觸點電流 3 A
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