Infion產品

高壓強熱電離皮拉尼真空計HPG400

INFICON 高壓強熱電離皮拉尼真空計, HPG400, 將高壓強熱電離和皮拉尼傳感器

組合在一個簡單,小型,經濟的組裝件中,測量壓強范圍從 2×10^-6 毫巴至大氣壓(1.5×10^-6 乇至大氣壓). HPG400 提供高度可重復和可再生的壓強測量用于精確的濺射過程壓強控制。

·? HPG400 節省成本和工具空間和減少真空系統安裝和設置的復雜性

·? 高壓強熱電離真空計提供精確,可靠的壓強測量從1 x 10^-5 至 1 毫巴, 用于改進的過程控制

·? 用戶可選的熱離子發射作用于 5 x 10^-2 與 1 毫巴之間

·? 皮拉尼聯鎖保護熱燈絲防止過早燒毀

·? 可選圖形顯示器和現場總線接口

·? 自動高真空皮拉尼調整減少操作人員的干預

·? RoHS 兼容性

·? 濺射應用于半導體制造,電子學和介質工業中

·? 工業鍍膜

·? 一般真空測量和控制在低至高真空范圍

測量范圍	大氣壓~2×10-6
精度	±15%（10-5~1 mbar）
再現性	±2%（10-5~10-1 mbar） ±30%（10-1~100mbar）
允許最大過壓	2bar
溫度
工作	0~50℃
貯存	-20~70℃
在法蘭處烘烤	80℃
卸除電子學	150℃
電源電壓	20~28V
輸出信號模擬	0~10.2V
測量范圍
熱陰極	1.5~7.5V
皮拉尼	8.5~9.75V
電壓與壓強的關系
熱陰極	1V/量級
皮拉尼	0.25/量級
誤差訊號
熱陰極	0.3V
皮拉尼	0.5V
負載電阻最小	10kΩ
接口	RS232
電連接件	D-Sub,15-腳，插頭型
電纜長度（最大）	100m
暴露于真空的材料	Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, 不銹鋼, 玻璃
內容積KF/CF	20/30 cm3
重量KF/CF	430/695g
保護等級	IP30