Gamma 非蒸發吸氣泵（NEG）

非蒸發吸氣泵（NEG）使用了加壓在固態基板或燒結成圓片的活性金屬。研究發現利用特殊工藝將鋯、釩、鐵燒結成一體特別適合于高真空和超高真空環境，而且材料用量直接影響NEG泵的抽速和氣體捕集量。NEG泵的抽速為50~3500l/s（H₂）。隨著 NEG 內氣體的飽和，它可以在不需要破空大氣的環境下再活化。其主要優勢在于能夠在無需電源的情況下長時間抽真空。
       非蒸發吸氣泵（NEG）非常適合于抽空和維持真空應用，也可用于進一步提升離子泵性能，或單獨使用抽真空。由于其尺寸緊湊、H₂ 抽速較高，因此是UHV應用的理想選擇。NEG通常不適用于頻繁從大氣壓開始抽真空的應用，因為這會使NEG氣體飽和，NEG的活化次數有限。