CTI-Cryogenics? On-Board?IS 500是現今市場上最高性能、最智能的大口徑(500m)低溫泵。顯著的抽速、容量和通道優勢,使On-Board?IS500成為那些要求穩定真空特性的高產能應用的理想選擇,例如LED、OLED、平板制造、光學鍍膜、金屬沉積、空間模擬和大容器抽空系統等應用。

擁有現場實踐檢驗,全球公認的CTI-Cryogenics On-Board?IS技術,On-Board?IS 500低溫泵可提供高抽速以實現快速抽空。通過程序控制,第一級溫度控制在100K可提供更穩定更可靠的真空性能,同時清潔無油運行,沒有液氮損耗從而改善真空質量。On-Board?IS 500低溫泵采用大冷量雙極制冷機(第一級100w@80k@50hz 120w@80K@60hz;第二級15w@20k@50hz 18w@20k@60hz),可支持高熱量工藝應用和大氣載從而獲得更好的真空可靠性能并能延長兩次再生之間的時間間隔。

On-Board? IS 500低溫泵冷頭采用機械驅動方式穩定可靠,不受氫氣壓力波動影響;雙級制冷機均采用硅二級管測溫元件,測溫準確反應靈敏;雙極制冷機均采用內置加熱器,可實現精準的控溫及再生時的輔助加熱;同時On-Board?IS 500低溫泵帶有氣體吹掃功能可以有效的幫助清潔活性炭,冷泵再生更徹底更安全。

智能即插即用的On-Board IS 500低溫泵是在共產安裝并測試過的包括閥、傳感器和加熱器的整套系統,同時還集成微處理系統,使你可以自動運行以下操作,甚至是異地也可以自動操作:

? 再生控制

? 溫度控制

? 手動遠程/本地控制

? 讀取運行歷史、診斷數據文件

? 電源故障自動恢復

? 診斷歷史數據記錄

? 真空系統PLC或主機

可靠的CTI-Cryogenics壓縮機輸送清潔無油的高壓氦氣。On-Board 500 IS低溫泵與現場On-Board IS 1000壓縮機無縫運作。更重要的是CE和UL認證的On-Board IS 1000壓縮機帶有智能通訊接口,在線監測氦氣流量、氦氣壓力、冷卻水流量、冷卻水溫度、功率消耗等運行參數指標,具有在線智能診斷功能。

 

性能特點

? 非常的抽氣速度適合高產能真空應用的抽量要求

? 經過現場驗證的CTI-Cryogenics On-Board IS 技術可確保高可性、長壽命和較少的維護需求

? 變頻馬達控制技術提供更充足的冷量,從而真空特性更優越,對額外負載的抵御能力更強

? 變頻馬達控制技術降低冷頭振動值從而降低整個真空系統的振動,大大提高工藝控制的穩定性

? 更加可靠的冷頭內部密封和傳動結構設計,提高冷泵運行可靠性和使用壽命

? 高冷量能力用于處理大氣載可延長兩次再生的時間間隔以降低成本

? 只能的自動控制系統可維持真空特性的穩定并能實現快速再生

? 清潔、無油運行,沒有液氮的消耗同時改善了真空質量

技術參數

參數性能
抽速
30000l/s
空氣 10000l/s
13700l/s
8400l/s
氣體容量
45標升
6000標升
通導
1000Sccm(13Torr-L/s)
啟動流量 600Torr L
完全再生 200min
物理特性和公共設施需求
低溫泵安裝法蘭
法蘭形式 ISO(K)500mm
重量 62.6kg
工作電壓 200/230 50/60Hz
額定輸入功率 5.8kw
系統冷卻要求 水流量 3GPM
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