性能特點

? 高導通

? 快速關閉

? 防止在電源故障的情況下導致工藝室排氣

? 可防止蒸汽或微粒從底泵移至工藝室

幾何尺寸

技術指標

VIV25EKA VIV40EKA VIV50EKA
法蘭類型 NW25 NW40 NW50
工作壓力范圍 1x10-8 to 1000mbar 1x10-8 to 1000mbar 1x10-8 to 1000mbar
分子導通率 11ls-1 30.5ls-1 126ls-1
壓差
關閉狀態 >200mbar >200mbar >200mbar
打開狀態 >200mbar >200mbar >200mbar
密封性 閥體 <1×10-9mbar l s-1 <1×10-9mbar l s-1 <1×10-9mbar l s-1
閥座 <1×10-5mbar l s-1 <1×10-5mbar l s-1 <1×10-5mbar l s-1
先導閥 <1×10-7mbar l s-1 <1×10-7mbar l s-1 <1×10-7mbar l s-1
切換時間 開啟 <15*s <15*s <15*s
關閉 <0.1s <0.1s <0.1s
響應 <0.05s <0.05s <0.05s
材料 閥體
材料 密封 氟橡膠 氟橡膠 氟橡膠

訂貨信息

貨號 描述
A50637500 VIV25EKA電磁閥 24V DC
A50637501 VIV25EKA電磁閥 100-115V AC
A50637502 VIV25EKA電磁閥 208-230V AC
A50637510 VIV40EKA電磁閥 24V DC
A50637511 VIV40EKA電磁閥 100-115V AC
A50637512 VIV40EKA電磁閥 208-230V AC
A50637520 VIV50EKA電磁閥 24V DC
A50637580 VIV閥連接盒 C13/C14 100-230V 50/60Hz
A50637392 VIV閥電源線
A50637590 VIV閥連接盒 C19/C20 100-230V 50/60Hz
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