性能特點

? 平均無故障時間(MTTF)可達5000000次

? 抽氣受控,適合相應流程

? 鋁質閥體

? 一旦停電,可以快速反應

? 提供5mm、6mm和7mm可更換孔板

性能曲線

應用

從閥打開時,氣流以較低流速在閥的兩側間流過可更換孔板,實現慢抽速。達到用戶設定壓力后,主閥根據用戶提供的信號打開,實現全通徑泵送。

波紋管密封的閥門,單向執行,氣動打開,彈簧封閉。產品隨附三個可更換孔板,以使泵的性能符合您的要求。標準配置中包含一個微開關,用于指示閥門狀態。閥門和微開關都可以加熱到100℃以加速脫氣,防止氣體在閥門內冷凝。

SIPVP軟啟動隔斷閥主要用于半導體行業,但也可用在其它需控抽氣的應用中。

幾何尺寸

技術指標

閥門操作類型 單向,電動打開,彈簧關閉
壓力范圍 1×10-9~2100mbar/ 8×10-10~1575Torr
最大壓差
打開 1000mbar/750Torr
關閉 2100mbar/1575Torr
漏率 10-9mbar l/s(10-10Torr l/s)
氣動連接 Rp 1/8(1/8" BSP)
氣動工作壓力 2.8~4.2bar
電器指示器 單個微開關
微開關電器額定值 24V,1.5A AC或DC
最大循環頻率 900次/ h
波紋管可靠性 5000000次(MTTF)
工作環境溫度 5~100℃
最高加熱溫度 100℃
材質 HE30TF 鋁
O型圈 氟橡膠
4bar時的開/關時間 SIPV25P(SIPV40P)
重量
SIPV25P 920 g
SIPV40P 1760 g

訂貨信息

貨號 描述
C41624000 SIPV25P軟啟動隔斷閥 氣動,波紋管密封,鋁
C41644000 SIPV40P軟啟動隔斷閥 氣動,波紋管密封,鋁
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