進氣口附件

FL20K 前置阱適用于潔凈的真空系統，防止旋片真空泵的油蒸汽上返到真空系統，以免污染系統。采用活性氧化鋁作為吸附劑。

FL20K 特別適用于兩級旋片泵，工作真空低于1mbar。將FL20K安裝到真空系統端，可以使吸附劑壽命最大化。與其它吸附劑相比，活性氧化鋁還能吸附水汽，同時不影響對油霧的吸附，卻會加長抽真空時間。為最小化水汽吸附，建議安裝旁路閥。

阱體采用鋁材質，其內放置吸附劑的網桶可拿出。

• 吸附性高，可達99.7%
• 使用壽命長
• 可再生使用，將使用過的吸附劑放在250℃～300℃烘培2h即可使用

ITO20K入口液體捕集罐將進入真空泵的可凝縮蒸汽最小化。

? 捕集可凝縮蒸汽，減少管路和泵中的水蒸汽

? 防止來自系統的泡沫或飛沫進入真空泵

? 罐體抗腐蝕

? 可觀測罐內捕集到液體的多少

? 排水塞手可擰動，易于排水

ITD干燥吸附阱用于在高泵速時抽有限量水蒸氣到低蒸汽壓，使用五氧化二磷（P2O5）作為干燥劑。Edwards不提供P₂O₅，P₂O₅可吸附20%以上的水，以保持低蒸汽壓。

阱體為鑄鋁，體內有一不銹鋼托盤。通過阱體頂部的玻璃蓋可以觀察干燥劑使用情況。

? 吸附腐蝕性氣體，以免侵蝕泵和泵油

? 吸附大分子氣體（如用于抽涂有樹脂的設備），以免附著而引起堵塞

? 標準吸附劑（活性炭），高吸附性，可吸附本身重量的25%左右，即使抽大量水汽

? 在兩級泵上使用時，使用活性氧化鋁做吸附劑還可防止返油

? 也具有 ITO20K捕集罐的特點

ITF入口灰塵過濾器用于防止灰塵顆粒進入真空泵。對于泵速為20m³/h 的真空泵，

使用潔凈的過濾器，1mbar時泵速降低約20%，10mbar時泵速降低約25%。根據使用情況，可以使用真空吸塵器或潔凈空氣清洗過濾元件，然后重復使用。

?? 厚鋁鑄件，耐磨損

?? 切線入口，加大灰塵顆粒的離心分離

?? 過濾效率優于96%（按照BS2831測試，2#顆粒）

EBV20氣鎮控制閥用于遠程控制真空泵氣鎮。

消音器適用于沒有連接到房屋排氣系統的nXDS真空泵，它也有一定的過濾作用。