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ELD氦質譜檢漏儀

ELD500氦質譜檢漏儀是Edwards 推出的新型檢漏儀，它操作界面簡單、便于攜帶，用于各類快速、準確的泄漏檢測應用。

Edwards ELD500是用戶在泄漏檢測方面的最佳選擇。

應用領域

分析儀器

? 電子顯微鏡
? 泄漏檢測
? 質譜分析
? 表面分析

科學研究

? 空間模擬
? 低溫研究
? 納米技術
? 鍍膜系統

高能物理

? 光束線
? 加速器
? 核聚變
? 激光排氣

半導體

? 真空裝載
? 真空輸送
? 計量校準
? 光刻
? 物理氣相沉積（PVD）
? 等離子蝕刻
? 離子注入
? 化學氣相沉積（CVD）
? 平板顯示
? LED

工業

? 泄漏檢測
? 電子束焊接
? 燈泡和燈管制造
? 玻璃鍍膜
? 制動管路與空調
? 制冷系統
? 熱處理
? 電源
? 真空爐

性能特點

操作簡單、攜帶方便

ELD500開機2min即可工作。用戶可通過面板上簡單的讀數進行詳細數據分析。質量輕、一體化，即可操作臺安裝也可小推車安裝。

? 圖形顯示大且清晰，可直接訪問關鍵功能，使用極其簡便

? 最小質量僅30kg，方便攜帶，配件包括小推車，可再放置一臺泵和一個氦氣瓶

? 可任意裝運，可選購有輪的裝運箱，方便攜帶

? 快速啟動，從開機到第一個檢測值只需107s

可根據用戶需求定制

ELD500氦質譜檢漏儀有三種型號：FLEX、WET和DRY，外加大量配件，使得ELD500成為多用途型氦質譜檢漏儀，幾乎滿足所有應用。ELD500一鍵式操作，即可在真空模式下進行精確測量，又可在嗅吸模式下確定泄漏位置。

? 所有型號均配有為便攜式泄漏檢測而優化設計的性能可靠的渦輪分子泵，型號包括

—WET型，配備油封式旋片機械真空泵

—DRY型，配備適合于抽氦氣的隔膜泵

—FLEX型，無前級泵，便于用戶配備大型前級泵，如Edwards nXDS渦旋干泵

? 可選遠程控制器

—彩色觸摸屏，遠程顯示圖形

—通過喇叭或耳機可辨別泄漏指示

—數據記錄在本地內存或USB存儲器中

—有線、無線兩種型號可選

—無線型號最多可同時控制10臺泄漏檢測儀

? 分流組件，可有效抽空大腔體或被污染的物質

—與WET和FLEX兼容

—允許實際漏率的自動計算和顯示

—可從大氣壓強開始檢測泄漏

? 嗅吸器具有廣泛的引用，可用于增壓系統上具體漏點的檢測

—標準嗅吸器最遠可在距ELD500檢測儀4m處操作

—通過嗅吸器延伸器接口可使用50m長的嗅吸器線

高穩定性、高精確度

ELD500不僅集成標準漏孔，而且質譜儀校正高質量，使得其重復性能優異，即可用于對連續測量重復性要求苛刻的生產線上，也可用于漏率要求極低的傳統實驗室環境。

? 可通過內置漏孔（長壽命）進行全自動、簡單、高精度校正

? 可選外部校正標準漏孔，用于符合國際和客戶/公司標準的高精度高準確性檢漏

? 行業領先的180o質譜儀，保證良好的長期穩定性

? 精檢模式中氦氣高抽速，使得檢漏儀氦氣污染后可快速恢復

技術指標

訂貨信息

貨號	描述
D13510903	ELD500 WET, 200-240V,50/60Hz
D13520903	ELD500 DRY, 200-240V,50/60Hz
D13530000	ELD500 FLEX, 100-240V,50/60Hz
D13550100	ELD500 RC，有線遙控
D13550110	ELD500 RC，無線遙控
D13514022	ELD500 RC，有線，8m延長電纜
D13550130	ELD500 RC，無線發射器
D13550300	ELD500 SL，標準嗅吸器線4m
D13550200	ELD500 SL，延長嗅吸器線接口
D13514008	ELD500 SL，延長嗅吸器線5 m
D13514009	ELD500 SL，延長嗅吸器線20 m
D13512183	ELD500 SL，延長嗅吸器線50 m
D13550400	ELD500 分流組件適配器
D13550500	ELD500 運輸箱
D13550600	ELD500 沒有Ebox的小推車
D13550610	ELD500 有230V Ebox的小推車
D13516555	ELD500 SG，氦氣噴槍
D13550910	CL，內置標準漏孔
D13550930	CL，標準漏孔，螺紋接口0.5-1E-7.
D13550950	CL，標準漏孔，HE 4-6
EW3AA5100	從18個月延長至3年
EW5AA5100	從18個月延長至5年