性能特點

? 領先的轉子技術

? 適合于絕大多數工藝流程

?無油

? 低振動

? 高可靠性

應用領域

? 金屬(如鋁)、鎢、絕緣體(氧化物)以及多晶硅的等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)

? 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕

? CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD鍍膜

? 濺射

? 離子注入源、射線束泵送端點站

性能曲線

幾何尺寸

技術指標

入口法蘭 ISO100、CF100
前級抽氣口 KF25
抽速 N2/ H2 300/300l/s
壓縮比 N2/H2 >108/>2×104
極限真空(加熱) (VG/ISO 法蘭) 6.5×10-6 Pa
極限真空(加熱) (ICF 法蘭) 10-8 Pa
進口最大允許壓力 (空冷) 0.066Pa
前級允許壓力 (空冷) 13Pa
額定轉速 48000rpm
啟動時間 3min
入口法蘭允許溫度 120 °C
輸入電壓 200~240 V (± 10%)AC
啟動功耗 0.55kVA
泵重 11 kg
控制器重 7kg

訂貨信息

貨號 描述
B74830020 STP301渦輪分子泵 進口ISO100 出口KF25
B74831010 STP301渦輪分子泵 進口DN100CF
B74871000 STP301C渦輪分子泵 進口ISO100 出口KF25
B74871010 STP301C渦輪分子泵 進口ISO100
B74872000 STP301C渦輪分子泵 進口ISO100 出口KF40
B74881010 STP301C渦輪分子泵 進口DN100CF
YT21ZOZ01 SCU-350控制器
YT21CA001 STP301/451水冷環
YT011A005 STP301/451/603/1003空冷 200-240 VAC
B70700010 STP控制電纜,3m
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