性能特點

? 設計緊湊,包括完整的集成控制器

? 獨創的自適應磁懸浮軸承系統

? 數字化5軸控制

? 與普通渦輪分子泵相比振動降低了50%

? 可用于腐蝕性工藝流程

? 自動平衡系統(ABS)標準

? 自動減振(AVR)標準

? 列于UL中,具有CE標記,符合SEMI? S2

性能曲線

應用領域

? 金屬(如鋁)、鎢、絕緣體(氧化物)以及多晶硅的等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)

? 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕

? CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD鍍膜

? 濺射

? 離子注入源、射線束泵送端點站

? MBE

? 漫射

? 光致抗蝕劑脫模

? 晶體/晶膜生長

? 晶片檢查

? 裝載鎖真空腔

? 科學儀器:表面分析、質譜、電子顯微鏡

? 高能物理:射線束、加速器

? 放射性應用:核聚變系統、回旋加速器

 

?

幾何尺寸

技術指標

入口法蘭 ISO100K
抽速
N2 300l/s
H2 300l/s
壓縮比
N2 >108
H2 >1×104
極限真空 6.5×10-6 Pa
最大工作壓力 1.3×10-1 Pa
允許前級真空 67 Pa
額定速度 55000rpm
啟動時間 <6min
安裝位置 任何方向
冷卻方式 自然冷卻(加熱和泵送氣體時應水冷或空冷)
潤滑油 無需
前級泵 240l/min
軸向方向 <100m/Gauss
徑向方向 <100m/Gauss
環境溫度 0°C ~40°C
存儲溫度 -25°C ~55 °C
重量 15kg

訂貨信息

貨號 描述
PT640Z010 STP-iX455渦輪分子泵 ISO100K入口法蘭
PT640Z020 STP-iX455渦輪分子泵 ISO160K入口法蘭
PT640Z050 STP-iX455渦輪分子泵 DN100CF入口法蘭
PT640Z060 STP-iX455渦輪分子泵 DN160CF入口法蘭
YT79U1Z00 iDT-001顯示單元
PT64W0Z00 iPS240電源
PT64Y0B20 STP-iX455/iPS240連接電纜,5 m
PT64Y0A10 iPS240電源線,3m
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