性能特點

? 領先的轉子技術

? 高通氣量

? 適合于絕大多數工藝流程

? 無油

? 低振動

應用領域

? 金屬(如鋁)、鎢、絕緣體(氧化物)以及多晶硅的等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)

? 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕

? CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD鍍膜

? 濺射

? 離子注入源、射線束泵送端點站

性能曲線

幾何尺寸

技術指標

入口法蘭 ISO100K
前級抽氣口 KF40
吹掃口 KF10
水冷安裝 PT1/4
抽速 N2/ H2 300/200l/s
壓縮比 N2/H2 >108/103
極限真空(加熱) 10-7 Pa
前級允許壓力 660Pa
最大N2通量 2500sccm
額定轉速 48000rpm
啟動時間 4min
入口法蘭允許溫度 120 °C
輸入電壓 200~240 V (± 10)AC
啟動功耗 0.6kVA
泵重 15 kg
控制器重 9kg

訂貨信息

貨號 描述
B71901010 STPH301C渦輪分子泵 進口ISO100K
YT340Z004 STPH301C渦輪分子泵 進口DN100CF
YT3416001 STPH301CV TMS渦輪分子泵 進口ISO100F
YT3416005 STPH301CV TMS渦輪分子泵 進口DN100CF
YT49Z2Z00 SCU-800控制器
B75130020 STP控制電纜,5m
PT330V000 TMS連接電纜套件,5m
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