性能曲線

幾何尺寸

技術指標

nEXT85 DN40 nEXT85 DN63
抽速
N2 47 84
He 61 78
H2 49 60
Ar 44 80
壓 縮 比
N2 >1011 >1011
Ar >1011 >1011
He 8×106/2×107(D/H) 8×106/2×107(D/H)
H2 2×105/5×105(D/H) 2×105/5×105(D/H)
極限真空(mbar) ISO:<5×10-9,CF:<5×10-10 ISO:<5×10-9,CF:<5×10-10
前級真空要求(mbar) 18 18
入口法蘭 NW40 ISO63或CF63
出口法蘭 KF16 KF16
推薦前級泵* RV5/nXDS6i RV5/nXDS6i
放氣口/吹掃口 1/8英寸BSP母螺紋 1/8英寸BSP母螺紋
重量(kg) 3 3/4.5
90%轉速啟動時間 80W:130s,120W:90s 80W:130s,120W:90s
工作轉速 90000rpm 90000rpm
入口最高溫度 120℃ 120℃
噪聲(1m處) <34dB(A)±2.5 <34dB(A)±2.5
最大耐受磁場 3.5mT 3.5mT
工作姿態 垂直、水平(±2°) 垂直、水平(±2°)
冷卻方式 空冷/水冷(單獨訂購) 空冷/水冷(單獨訂購)
電源 24V-48VDC 24V-48VDC
工作最高海拔 2000m 2000m
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