性能曲線

幾何尺寸

技術指標

入口法蘭 DN100ISO-K,DN100CF
出口法蘭 KF25
抽速
N2 300l/s
He 340l/s
H2 280l/s
壓縮比(D/T)
N2 >1×1011
He 1×106/3×106
H2 5×104/1×105
極限真空(ISO/CF,RV前級泵) <6×10-8/<5×10-10 mbar
前級真空要求(D/T) 9.5/20 mbar
推薦前級泵* RV12/nXDS10i
放氣口/吹掃口 1/8英寸BSP母螺紋
重量(D/T) 5.7/6kg,8.5/8.8kg
最大連續入口流量(氮氣)?
水冷 95sccm(水溫15°C,環境溫度40°C)
空冷 115sccm(環境溫度35°C)
泵轉速
標稱轉速 60000rpm
待機轉速 33000~60000rpm可調(缺省42000 rpm)
功率范圍 50~200W可調 (缺省160W)
90%啟動時間(D/T) 115s/175s(160W)
模擬輸出 泵轉速、功耗、泵溫度、控制溫度
冷卻方式 空冷/水冷(單獨訂購)
空冷環境溫度 5~35°C
最小水冷流速 15l/ h(15°C的水)
水溫范圍 10~20°C
入口法蘭最高溫度 80°C
工作姿態 垂直、水平(±2°)
噪聲(1m處) <45±3 dB(A)
最大耐受磁場 5mT
推薦控制器 TIC200渦輪儀表控制器
穩態功耗 20W

訂貨信息

貨號 描述
B82200100 nEXT300D渦輪分子泵:ISO100,160W
B82200101 nEXT300D渦輪分子泵:ISO100,80W
B82200200 nEXT300D渦輪分子泵:CF100,160W
B82200201 nEXT300D渦輪分子泵:CF100,80W
B82300100 nEXT300T渦輪分子泵:HC,ISO100,160W
B82300101 nEXT300T渦輪分子泵:HC,ISO100,80W
B82300200 nEXT300T渦輪分子泵:HC,CF100,160W
B82300201 nEXT300T渦輪分子泵:HC,CF100,80W
D39722000 TIC渦輪儀表控制器:200W、RS232
B58053175 nEXT徑向風扇
B58053170 nEXT徑向風扇,帶泵驅動接頭
B80000815 nEXT 水冷組件
B80000812 油盒工具組件
B80000805 軸承工具組件
B80000811 油盒
B80000810 軸承和油盒
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