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nEXT240 渦輪分子泵
nEXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結合使用的復合分子泵，有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口，對N2的抽速為240l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術，上軸承為永久性磁懸浮軸承，下軸承為油潤滑陶瓷軸承，并改進轉子設計，使其更加有效地實現分子拖曳行程，最終提高抽速和壓縮比，同時真正實現了用戶自行維護。它們采用24V到48V直流無傳感器電機，內置驅動，與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種最大預設功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氬氣，但在該功率下達到滿轉速的加速時間較長。
基本的分子泵系統通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。
性能曲線
幾何尺寸
技術指標
| 入口法蘭 | DN100ISO-K，DN100CF |
|---|---|
| 出口法蘭 | KF25 |
| 抽速 | |
| N2 | 240l/s |
| He | 230l/s |
| H2 | 165l/s |
| 壓縮比（D/T） | |
| N2 | >1×1011 |
| He | 3×105/3×105 |
| H2 | 1×104/1.5×104 |
| 極限真空（ISO/CF，RV前級泵） | <6×10-8/<5×10-10 mbar |
| 推薦前級泵* | RV12/nXDS10i |
| 放氣口/吹掃口 | 1/8英寸BSP母螺紋 |
| 重量（D/T） | 5.7/6kg，8.8/9.1kg |
| 最大連續入口流量（氮氣）? | |
| 水冷 | 45sccm（水溫15°C，環境溫度40°C） |
| 空冷 | 30sccm（環境溫度35°C） |
| 泵轉速 | |
| 標稱轉速 | 60000rpm |
| 待機轉速 | 33000~60000rpm可調（缺省42000 rpm） |
| 功率范圍 | 50~200W可調 （缺省160W） |
| 90%啟動時間（D/T） | 115s/140s（160W） |
| 模擬輸出 | 泵轉速、功耗、泵溫度、控制溫度 |
| 冷卻方式 | 空冷/水冷（單獨訂購） |
| 空冷環境溫度 | 5~35°C |
| 最小水冷流速 | 15l/ h（15°C的水） |
| 水溫范圍 | 10~20°C |
| 入口法蘭最高溫度 | 75°C |
| 工作姿態 | 垂直、水平（±2°） |
| 噪聲（1m處） | <45±3 dB(A) |
| 最大耐受磁場 | 5mT |
| 推薦控制器 | TIC200渦輪儀表控制器 |
| 穩態功耗 | 20W |
訂貨信息
| 貨號 | 描述 |
|---|---|
| B81200100 | nEXT240D渦輪分子泵：ISO100，160W |
| B81200101 | nEXT240D渦輪分子泵：ISO100，80W |
| B81200200 | nEXT240D渦輪分子泵：CF100，160W |
| B81200201 | nEXT240D渦輪分子泵：CF100，80W |
| B81300100 | nEXT240T渦輪分子泵：HC，ISO100，160W |
| B81300101 | nEXT240T渦輪分子泵：HC，ISO100，80W |
| B81300200 | nEXT240T渦輪分子泵：HC，CF100，160W |
| B81300201 | nEXT240T渦輪分子泵：HC，CF100，80W |
| D39722000 | TIC渦輪儀表控制器：200W、RS232 |
| B58053175 | nEXT徑向風扇 |
| B58053170 | nEXT徑向風扇，帶泵驅動接頭 |
| B80000815 | nEXT 水冷組件 |
| B80000812 | 油盒工具組件 |
| B80000805 | 軸承工具組件 |
| B80000811 | 油盒 |
| B80000810 | 軸承和油盒 |