性能特點

? 更高抽速(N2)- 730 l/s、925 l/s

? 360°任意角度安裝

? TIC 控制器可同時控制分子泵和三路真空規管

? 維護間隔長,用戶可自主維護

? 設計靈活,滿足OEM定制需求

性能曲線

幾何尺寸

技術指標

930D
入口法蘭 ISO200, CF200
出口法蘭 KF25
抽速
N2 925 1/s
Ar 865 1/s
He 9051/s
H2 735 1/s
漏率(mbar. 1/s)
N2 14 1/s
Ar 3.5 1/s
He 21 1/s
H2 >>14
壓縮比
N2 >1×1011
Ar >1×1011
He 1.2×108
H2 4.0×106
極限真空 <3.5×10-9 /<6×10-10mbar
前級真空壓力 15mbar
額定轉速 49200 min-1
啟動時間 2.5min
功率范圍 40~400w
冷卻標準 對流
冷卻方式 空冷/水冷
最小水冷流速 60 1/h
允許冷卻水壓力 6bar(g)
水溫范圍 15~35℃
重量 15.4kg ,21.7kg
噪音 <52 ±2 dB(A)
烘烤期間的進氣法蘭允許最高溫度(水冷) 100℃
可處理氣體流量 0.4mbar.1/s ,24sccm
放氣口/吹掃口 G 1/8″

訂貨信息

貨號 描述
B8K200D00 nEXT 930D渦輪分子泵:NW25 ISO-K 200
B8K200F00 nEXT 930D渦輪分子泵:NW25 CF200
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